二氧化硅薄膜膜厚標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
國標(biāo)號：GBW13960
英文名稱：Thin Film Thickness CRM of SiO2/Si
應(yīng)用領(lǐng)域：物理學(xué)與物理化學(xué)/光學(xué)特性
保存條件：真空包裝，陰涼、干燥處存放
使用注意事項：樣品開封使用應(yīng)保證取樣工具等潔凈，避免樣品沾污。
特征形態(tài)：固態(tài)
基體：
主要分析方法：
定值單位：中國計量科學(xué)研究院#
規(guī)格：外包裝為鋁箔真空袋，每包裝為一片，20 mm乘以20 mm
量值信息
標(biāo)準(zhǔn)值 不確定度 單位 CAS 備注
二氧化硅薄膜 106.1 1.7 膜厚（nm）
